主要用途：

清洗電子元件、光學器件、激光器件、鍍膜基片、芯片。

清洗光學鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片。

移除光學元件、半導體元件等表面的光阻物質。

清洗ATR元件、各種形狀的人工晶體、天然晶體和寶石。

清洗半導體元件、印刷線路板。

清洗生物芯片、微流控芯片。

清洗沉積凝膠的基片。

高分子材料表面修飾。

牙科材料、人造移植物、醫療器械的消毒和殺菌。

改善粘接光學元件、光纖、生物醫學材料、宇航材料等所用膠水的粘和力。

適用氣體：

壓縮空氣、氬氣、氮氣、氧氣、均設置有壓力表；

清洗處理時間可調；

設有故障自動檢測，報警系統；

清洗腔室采用優質316不銹鋼板制作，機架及外封板采用A3材質型材制作烤漆處理；

電極板采用鋁板制作；

腔體門采用厚鋁板制作；

采用10”觸摸屏操作方式，操作簡單方便（觸摸屏安裝右邊）。

外形尺寸：L1200×W1100×H1730mm ????????

真空泵功率：1.5KW+2.2KW

內腔尺寸：L500×W500×H600mm? ? ? ? ? ??

總功率:5.7KW

腔內容量：105L? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ??

工作時間：1-99min可調

托盤尺寸：L456×W405mm? ? ? ? ? ? ? ? ??

電源要求：AC380V三相五線

托盤數量：8塊? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ???

溫控范圍：常溫-100℃

射頻電源功率：1KW? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

開門方式：手動/自動開門

匹配器功率：1KW? ?

蝕刻：對于光致抗蝕劑聚酰亞胺的殘留和以硅化物為基本成分的涂層等材料的清除很有用；

粘附提升：往基質上添加活化能力強的化學基團以提高其粘合劑的黏著度；

清洗：清除材料上的光學物質的污染以及清除有機物殘留，氧化和金屬鹽等對材料的污染；

活化：能使處理基材表面生成所需化學極鍵；

退鍍：使被處理基材除去金屬等材料，制作各種產品。

濕化學處理?- 這種處理方法是危險和不穩定的。它通常需要昂貴的設備，以防止蒸汽污染空氣，排放廢液污染環境。即使后期處理達到環保要求，生產成本也很高，競爭沒有優勢。等離子體處理是用于處理材料最有效的方法，這里有幾個

替代傳統技術的等離子體處理的優點：

1.?環保?-?沒有有毒廢物的排放并且由于在機器操作時我們設置了一個非常低的空氣流量，因此空氣污染也降到最低。

2.?非危險物質?-?不用接觸有毒化學品。

3.?高效?-?提供統一的三維處理能力。

4.?可控?-?參數可以精確地設定為統一的處理。

5.?經濟?-?初始投資后加工起來是非常經濟的。